进口SIERRA Smart-Trak 140 系列气体质量流量控制器技术参数：

精度：

标准标定：±1.0%满量程及工作条件下的线性度(100M在201-300slpm时精度为2%的满量程)

Dial-A-Gas®：±1.0%的满量程(所有内置的10种气体)

重复性：±0.2%的满量程

温度系数：±0.025%的满量程每°F(0.05%的满量程°C)或更小

压力系数：±0.01%的满量程每psi(0.15%的满量程bar)或更小

响应时间：

600ms的时间常数，4秒(典型的)达到zui终的±2.0%.

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