进口ALICAT  MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器(真空型)参数：

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 20 slpm 满量程

艾里卡特®MCV 系列 质量流量控制器专门设计用于要求严密切断的应用，例如真空镀膜、喷 镀工艺，其集成式气动切断阀可提供氦气泄漏率仅为 1 x 10 -9 atm scc/sec 的正向切断 MCVS 系列适用于腐蚀性气体。

精度(调零后标准条件下)： ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度选配(调零后标准条件下)：±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)满量程 5SCCM 以下设备无高精度

重复性： ±0.2% F.S

零点漂移&满量程漂移： 0.02% F.S / ºC / Atm

工作范围 / 量程可调比：MCV 系列质量流量控制器 0.5% ～ 100 F.S / 200:1 ；MCVS 系列质量流量控制器 1% ～ 100 F.S / 100:1

很大可控流量： 102.4% F.S

典型响应时间： 100 毫秒(可调整)

启动预热时间： < 1 秒

阀门泄漏率： 不超过 1 x 10-9 atm scc/sec (氦检)

标准工况： (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)

工作温度： −10 ~ +50 ºC

工作湿度范围 (非冷凝) ：0 ～ 100

内部很大工作压力(静压)： 145 psig

很限压力： 175 psig

对安装方式/方向的要求： 无

阀门状态： 阀门常闭

防护等级 ：IP40

材质 ：CV: 316L,303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝 , 黄铜, 430FR 不锈钢, 硅, 玻 璃, PCTFE。

         MCVS: 标准采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根据特殊气体选用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene。

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