RG2 20 μm UHV 系列光栅尺是Renishaw 的真空系列产品基于既有的RG2 直线光栅系统和RESR 圆光栅系统。这些读数头由与UHV 兼容的材料和粘合剂特制而成,提供低除气率和清洁的RGA,另外还具有耗电低和发热小的特点。 RG2 真空系列产品适用于各种应用 场合,包括晶片处理/ 测试、科学仪器、 光谱仪、真空检测设备和其他更多的场 合,
UHV 系列产品
Renishaw 可提供在真空环境下使用的圆光栅和直
线光栅。查阅下表,了解如何正确匹配
读数头 尺带 细分盒
直线光栅(中分辨率) RGH25U RGB25 RGS20-S
直线光栅(高分辨率) RGH25F RGF RGS20-S
圆光栅 RGH20F RGF RESR 20 μm