TONiC™光栅系列

什么是TONiC？

TONiC是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统，速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差大，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。

TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10 ^-10 Torr的超高真空应用中，这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。

栅尺选项

• 直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴。
• 圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

镀金钢带

栅尺名称	精度	栅距	热膨胀 系数	栅尺ZU大长度	读数头兼容性
RGSZ/RGSN	±15 µm/m	20 µm	使用端压块固定到基体，保持与基体相同的热膨胀	如需超过50 m的长度，请联系雷尼绍	TONiC、TONiC UHV

带码道选项的不锈钢钢带

栅尺名称	精度	栅距	热膨胀 系数	栅尺ZU大长度	读数头兼容性
搭配可选FASTRACK™的RTLC20	±5 µm/m	20 µm	~10.6 µm/m/°C	10 m	TONiC、TONiC UHV

ZeroMet™直线硬栅尺 

栅尺名称	精度	栅距	热膨胀 系数	栅尺ZU大长度	读数头兼容性
RELM/RELE	1 m内为±1 µm，以后±1 µm/m	20 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	1.5 m	TONiC、TONiC UHV

不锈钢直线硬栅尺

栅尺名称	精度	栅距	热膨胀 系数	栅尺ZU大长度	读数头兼容性
RSLM/RSLE/RSLC	1 m内为±1.5 µm，2 m内为±2.25 µm，3 m内为±3 µm，5 m内为±4 µm	20 µm	~10.8 µm/m/°C	5 m	TONiC、TONiC UHV

不锈钢圆光栅

栅尺名称	刻划精度（取决于圆光栅直径）	栅距	热膨胀 系数	圆光栅直径	读数头兼容性
RESM/REST/RESD	±3.97至±0.38角秒	20 µm	17 μm/m/°C	52至550 mm	TONiC、TONiC UHV

超高精度不锈钢圆光栅 

栅尺名称	安装精度（取决于圆光栅直径）	栅距	热膨胀 系数	圆光栅直径	读数头兼容性
REXM/REXT	（≥100 mm直径）±1角秒 （75 mm直径）±1.5角秒 （≤57 mm直径）±2角秒	20 µm	17 μm/m/°C	52至417 mm	TONiC、TONiC UHV