VIONiC™光栅系列

VIONiC光栅系列是雷尼绍性能ZU高的增量式光栅。它可提供直接的数字位置反馈，具有优异的测量性能、速度快且可靠性高。VIONiC读数头集成雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和先进的细分技术。它具有 超低的电子细分误差 (SDE)、优异的抗污能力，而且无需额外使用适配器或单独的接口。

VIONiC读数头可兼容各种 直线栅尺和圆光栅，从低膨胀ZeroMet到高精度REXM圆光栅，无一例外。它因此成为一种通用型产品，适合各种对测量精度要求严格的应用。 

VIONiC读数头采用直观的自动校准模式设计，易于安装。可选的 高级诊断工具 (Advanced Diagnostic Tool, ADT) (ADTi-100) 可在安装或现场诊断期间提供实时的光栅数据反馈。

新！

VIONiC光栅的分辨率现可达到2.5 nm，并且全系列产品的电子细分误差 (SDE) 均有降低。

主要特性

速度

时钟输出选项 (MHz)	ZU高速度 (m/s)												ZU小边缘间隔* (ns)
	D (5 μm)	X (1 μm)	Z (0.5 μm)	W (0.2 μm)	Y (0.1 μm)	H (50 nm)	M (40 nm)	P (25 nm)	I (20 nm)	O (10 nm)	Q (5 nm)	R (2.5 nm)
50	12	12	12	7.25	3.63	1.81	1.45	0.906	0.725	0.363	0.181	0.091	25.3
40	12	12	12	5.80	2.90	1.45	1.16	0.725	0.580	0.290	0.145	0.073	31.8
25	12	12	9.06	3.63	1.81	0.906	0.725	0.453	0.363	0.181	0.091	0.045	51.2
20	12	12	8.06	3.22	1.61	0.806	0.645	0.403	0.322	0.161	0.081	0.040	57.7
12	12	10.36	5.18	2.07	1.04	0.518	0.414	0.259	0.207	0.104	0.052	0.026	90.2
10	12	8.53	4.27	1.71	0.850	0.427	0.341	0.213	0.171	0.085	0.043	0.021	110
08	12	6.91	3.45	1.38	0.690	0.345	0.276	0.173	0.138	0.069	0.035	0.017	136
06	12	5.37	2.69	1.07	0.540	0.269	0.215	0.134	0.107	0.054	0.027	0.013	175
04	12	3.63	1.81	0.730	0.360	0.181	0.145	0.091	0.073	0.036	0.018	0.009	259
01	4.53	0.910	0.450	0.180	0.090	0.045	0.036	0.023	0.018	0.009	0.005	0.002	1038

*适用于带有1 m长电缆的读数头

超低电子细分误差 (SDE)

细分误差 — 10个误差循环

X轴：读数头位置 (mm)

Y轴：误差 (nm)

栅尺选项

• 直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴。
• 圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

带码道选项的不锈钢钢带

栅尺名称	精度	栅距	20 °C时的热膨胀系数	栅尺ZU大长度	读数头兼容性
搭配可选FASTRACK™的RTLC20	±5 µm/m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	10 m	VIONiC

ZeroMet™直线硬栅尺

栅尺名称	精度	栅距	20 °C时的热膨胀系数	栅尺ZU大长度	读数头兼容性
RELM/RELE	1 m内为±1 µm，以后±1 µm/m	20 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	1.5 m	VIONiC

不锈钢直线硬栅尺

栅尺名称	精度	栅距	20 °C时的热膨胀系数	栅尺ZU大长度	读数头兼容性
RSLM/RSLE/RSLC	1 m内为±1.5 µm，2 m内为±2.25 µm，3 m内为±3 µm，5 m内为±4 µm	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	5 m	VIONiC

不锈钢圆光栅

栅尺名称	刻划精度（取决于圆光栅直径）	栅距	圆光栅直径	读数头 兼容性
RESM/REST	±3.97至±0.38角秒	20 µm	52至550 mm	VIONiC

超高精度不锈钢圆光栅

栅尺名称	安装精度（取决于圆光栅直径）	栅距	圆光栅直径	读数头兼容性
REXM/REXT	（≥100 mm直径）±1角秒 （75 mm直径）±1.5角秒 （≤57 mm直径）±2角秒	20 µm	52至417 mm	VIONiC

可选的高级诊断工具 (Advanced Diagnostic Tool, ADT) ADTi-100

VIONiC光栅系统可与 高级诊断工具 (Advanced Diagnostic Tool, ADT) ADTi-100和ADT View软件兼容。它们可提供全面的实时光栅数据反馈，以协助完成要求更严苛的安装和诊断操作。直观的软件界面可用于：

• 远程校准
• 在整个轴长上进行信号优化
• 读数头俯仰指示
• 限位和参考零位指示
• 光栅位置的数字读数（相对于栅尺）
• 监控速度与时间曲线图
• 导出和保存数据